ナノ領域の「羊飼い」〜MBE-LITHO・三次元「その場」ナノプロセスの研究開発
No.147  ナノ領域の「羊飼い」〜MBE-LITHO・三次元「その場」ナノプロセスの研究開発
時間:12:40
講師:金子 忠昭 関西学院大学理工学部物理学科教授
著作権:SAS

キーワード:
自己組織化,ナノ領域,トップダウン方式,ボトムアップ方式,光リソグラフィ,結晶構造

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